Merit Sensor - Manuseio e montagem de MEMS

Merit Sensor produz todas as matrizes em wafers de silício de 4 e 6 polegadas, que são serrados e entregues em fita adesiva.

A fita de corte é fixada a uma estrutura de wafer de metal (consulte a figura 1) que é adequada para a maioria dos soldadores de moldes automatizados. Qualquer unidade marcada com um ponto de tinta preta é considerada uma unidade defeituosa.

Recebendo e armazenando matrizes de silicone MEMS

Todas as bolachas montadas em fita adesiva serão entregues em conchas de plástico (ver figura 1), que são então inseridas em um saco plástico com fecho de correr antiestático. Um saco pode conter várias conchas com bolachas. Haverá uma etiqueta (ver figura 2) em cada garra, contendo o part number, número do pedido de compra (se aplicável), número do lote (incluindo número do wafer) e quantidade de matrizes de mercadoria. O lote e o número do wafer também serão escritos na fita adesiva.

Os sacos devem ser abertos apenas em sala limpa e, posteriormente, armazenados em ambiente escuro e seco, de preferência em armário com nitrogênio. A temperatura de armazenamento do estoque deve estar entre 19 e 26 ° C. O tempo de armazenamento de wafers em cubos em um ambiente de armazenamento adequado é de aproximadamente 5 anos. O armazenamento por mais de 5 anos ou em um ambiente não controlado ou diferente do que foi especificado pode resultar em problemas de coleta, como a aderência das matrizes quando são coletadas e os fios não aderem devido à corrosão das almofadas de colagem de alumínio no morre.