Três tipos comuns de pacotes de sensores de pressão

Merit Sensor possui e opera uma fábrica de wafer, onde produz todos os seus próprios MEMS morrer

No coração de cada sensor de pressão MEMS está um molde de silício MEMS. Merit Sensor possui e opera uma fábrica de wafer, onde produz todos os seus próprios MEMS morrer. O empacotamento de uma matriz MEMS requer equipamento especializado e habilidades para lidar com a matriz pequena e sensível e para realizar a ligação delicada do fio. Portanto, muitos clientes compram pacotes de sensores de pressão, nos quais a matriz já foi montada e ligada por fio. Este artigo irá discutir Merit Sensoros três tipos de embalagens: descompensado, compensado passivamente e totalmente compensado.

Descompensado

O pacote de sensor de pressão mais básico não é compensado. Em um pacote não compensado, a matriz MEMS foi montada em um substrato de cerâmica com um material especial de ligação à matriz, fio ligado a traços elétricos na cerâmica e coberto com uma tampa protetora ou gel. Uma vez que cada molde de silício é inerentemente único, a saída de cada um será única. Felizmente, as matrizes de silício têm saídas que são muito repetíveis. Isso significa que a saída pode ser compensada.

Sensor de pressão série PMD - sem compensação

Para obter uma saída precisa, o cliente precisará realizar algum grau de compensação. Certos aplicativos se prestam a compensação realizada pelo cliente. Fatores que muitas vezes determinam se a compensação é realizada por Merit Sensor ou o cliente inclui o seguinte:

• Custo
• Precisão
• Tamanho
• Sinal de saída

Compensado Passivamente

Uma versão mais pronta para uso de um pacote de sensor de pressão, especialmente para uso em temperatura ambiente, é aquela com compensação passiva. Nesse caso, o pacote do sensor de pressão é basicamente o mesmo que um pacote não compensado; entretanto, os resistores de filme espesso no substrato de cerâmica foram aparados a laser, fornecendo compensação adequada da saída da matriz em temperaturas de operação entre 10 ° C e 40 ° C.

Sensor de pressão série AP - passivamente compensado

Para aplicações, como monitoramento invasivo da pressão arterial em um quarto de hospital, a compensação nesta faixa de temperatura é suficiente. Outros benefícios da compensação passiva são o sinal analógico puro com resolução praticamente infinita e tempos de resposta de frequência em microssegundos.

Totalmente Compensado

Em um pacote de sensor de pressão totalmente compensado, o condicionamento de sinal (um ASIC integrado) é usado para compensar a saída da matriz em uma ampla faixa de temperatura. Uma matriz de silício MEMS não sabe a diferença entre pressão e temperatura, portanto, esse nível de compensação é especialmente crítico em aplicações onde a temperatura do ambiente de detecção flutua drasticamente ou atinge níveis extremos altos ou baixos. A compensação por meio do condicionamento de sinal pode fornecer uma saída linear e torná-la tão precisa quanto ± 1 por cento da saída de escala total (± 1% da banda de erro total do FS) em temperaturas operacionais entre -40 ° C e 150 ° C.

Ponte de Wheatstone em um dado de MEMS com ASIC integrado

Se usarmos bombas de combustível em aviões e trilhos de combustível em veículos para examples, é típico que sensores de pressão sejam expostos a temperaturas extremas; no entanto, é essencial que esses sensores de pressão ofereçam uma saída precisa. Um sensor de pressão totalmente compensado seria a solução apropriada.

Sensor de pressão série TVC - totalmente compensado

É importante enfatizar que cada sensor de pressão exigirá compensação individual, pois cada um terá uma saída exclusiva inerente ao seu dado MEMS. Muitos clientes simplesmente não têm tempo ou equipamento para fazer isso de forma logística ou econômica para cada unidade que passa por sua linha de montagem.

Merit Sensor tem a experiência e o equipamento para realizar esta etapa necessária para o cliente. Além disso, muitas vezes, embora nem sempre, faz sentido que a compensação seja feita antes que a peça deixe nossas instalações. No entanto, deixamos opções para aqueles clientes que optam por fazer sua própria compensação. Como sempre, nosso gerentes de vendas e equipe técnica ficará feliz em responder a quaisquer perguntas relacionadas.

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